根据Mamms咨询公司的说法，AxusTechnology（以下简称“ Axus”）是半导体行业CMP（化学机械抛光），晶片减薄和晶片表面抛光解决方案的全球领先供应商，最近宣布与美国公司CompoundPhotonics（也称为“ CPDisplay”，以下称为“ CP”）加速像素间距小于5μm的微型LED进入大众市场。 CP是面向增强现实和混合现实（AR / MR）的紧凑，高性能微显示解决方案的领先供应商。 Axus正在与CP合作，整合关键的晶圆级工艺，以实现CP下一代AR眼镜的2μm像素间距和1080pmicroLED显示器的批量生产。具体来说，Axus将部署其最先进的CapstoneCMP系统，该系统集成了CMP后清洁技术，晶圆平面化和表面处理工艺解决方案，以将microLED晶圆成功地粘合到晶圆级的高性能CMOS背板上。为了加快开发过程，Axus和CP将在位于美国亚利桑那州钱德勒的CP的增强现实加速MicroLED创新中心（MiARA）中建立该项目。 100级无尘室设施占地面积约15,000平方英尺（约1,394平方米），并为SiliconDesert的Axus，CP和其他设备供应商提供基础设施，以进行高级工艺开发，该工厂毗邻全球领先的半导体制造商。 Axus＆＃39;先进的CMP工艺能力是在外延基板上实现CP专利申请，小像素间距和microLED集成工艺解决方案的关键。 CapstoneCMP系统可以满足多个晶圆的高重复性，以及芯片内/晶圆内平坦化性能，并可靠地实现microLED和CMOS背板晶圆之间数百万微米级电触点的结合。这解决了批量生产过程的关键要求，即确保所生产的微型显示模块的视觉均匀性。这是对紧凑，低功耗，高亮度AR / MR近眼显示应用的迫切需求。自2020年初以来，Axus和CP一直在合作开发用于microLED阵列和CMOS背板晶圆的晶圆级键合集成工艺。最近的合作声明进一步表明了两家公司。致力于推进microLED显示器的制造过程和集成。 Axus董事长Dan Trojan评论说：“鉴于microLED的开发和商业化带来的巨大增长潜力和令人振奋的技术进步，我非常高兴Axus有机会支持在这一领域工作的许多技术公司。 Axus是与CMP相关的先进技术。工艺创新和工艺创新领域的领先供应商可以支持microLED及其解决方案。通过发布最新和最先进的CapstoneCMP系统，我们可以为研发，中试生产和批量生产应用提供最合适的工艺设备。非常感谢你。继续和扩大我们与CP的合作与互动的机会。我们相信CP是该领域的领导者和开拓者。” Axu工艺技术总监Peter Wrschka补充说：“ Axus与CP的联合合作将为显示设备提供前所未有的速度。和性能。 Axus在晶圆键合表面处理和后续的基板去除工艺方面拥有多年的经验，这是成功制造下一代微型显示器的必要条件。此项合作将大大缩短单片集成microLED显示器的上市时间，” CP产品开发总监Julie Chao表示：“我们非常高兴与Axus合作开发CMP和清洁解决方案，从而使CP的CMOS背板成为可能。可以与像素间距小于5μm的任何microLED晶圆键合。通过MiARA的共同努力，过程改进周期自然会缩短。这对于满足从开发人员到最终客户的市场周期至关重要。 “ MicroLED一直是满足AR / MR应用的关键需求的最有潜力的显示解决方案。制造工艺的创新对于降低成本和实现AR / MR耳机的商业化批量生产至关重要。原始标题：AR应用热潮临近，Axus和CP正在合作创建高分辨率microLED显示器。文章来源：[微信公众号：MEMS]欢迎大家关注！请指出转载文章的来源。